Déposez des couches minces uniformes et reproductibles sur vos substrats, de quelques nanomètres à 100 µm. La gamme DTS SC couvre tous vos besoins : laboratoire standard ou production grand format.
10 000 tr/min
±1%
Ø8″
Comment ça fonctionne ?
Le spin coating dépose un film mince uniforme en 4 étapes contrôlées par votre recette programmée.
Pour quels secteurs ?
2 modèles, un seul partenaire
Du laboratoire standard à la production industrielle grand format.
DTS SC1 - Standard · Polyvalent
Le modèle de référence. 1 100W pour une utilisation intensive et une répétabilité maximale. Substrats jusqu'à Ø 4 pouces ou 105×105 mm.-
Vitesse 50 – 10 000 tr/min
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Accélération 0 – 10 000 tr/min/s
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Stabilité ±1%
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Substrat max Ø ≤ 4" · 105×105 mm
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Chambre Ø 200 mm
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Puissance 1 100 W
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Dimensions 290×350×235 mm
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Poids 9 kg
DTS SC3 - Grand Format · Industriel
Chambre 300 mm, wafers jusqu'à Ø 8 pouces. 1 700W pour les procédés industriels et la production en volume. Substrats carrés jusqu'à 140×140 mm.-
Vitesse 50 – 10 000 tr/min
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Accélération 0 – 10 000 tr/min/s
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Stabilité ±1%
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Substrat max Ø ≤ 8" · 140×140 mm
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Chambre Ø 300 mm
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Puissance 1 700 W
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Dimensions 380×475×250 mm
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Poids 15 kg
Questions fréquentes
Un spin coater dépose une couche mince uniforme sur un substrat en rotation à haute vitesse. La force centrifuge étale la solution, l'excès est éjecté et le solvant s'évapore pour laisser un film reproductible de quelques nm à plusieurs centaines de µm.
Le SC1 est le modèle standard (1100W) pour substrats ≤4 pouces idéal pour les laboratoires. Le SC3 est le grand format (1700W, chambre 300 mm, Ø 8") pour la production industrielle.
Oui c'est l'une des applications phares. Le spin coating SU-8 permet de fabriquer des moules maîtres microfluidiques avec des couches de 10 à 500 µm. L'épaisseur contrôlée par la vitesse détermine directement la hauteur des canaux dans la puce PDMS.
Oui, des versions avec purge azote (N₂) et connectique adaptée aux glove boxes / boîtes à gants sont disponibles. Indispensable pour les matériaux sensibles à l'O₂ et à l'humidité : pérovskites, OLED, semi-conducteurs organiques.
